各类高纯度氧化铝精密陶瓷产品生产公司亚旭昌精密陶瓷事业部
氧化铝基板、薄板可也提供,欢迎查询。
English | Korean | Japanese
TEL:026-248-1626 Email:fcerainf@asuzac.co.jp
ASUZAC FINE CERAMICS 事业部介绍产品介绍材料和性能表生产技术制造流程材料性能对比

HOME > 材料 物性表 > 氧化铝

 氧化铝(Al2O3)



氧化铝

氧化铝是一种绝缘性高,耐磨耗,化学性能安定而且相对比较便宜的一种具有代表性的精密陶瓷材料。
我公司氧化铝材料的纯度有99.6%到99.99%各种等级,可以满足客户的不同需要。



  氧化铝材料的用途
半导体制造设备,液晶制造设备等处理舱内用配件,以及搬用陶瓷手臂等领域被广泛使用。

 氧化铝材料的特性
由于氧化铝绝缘性(1015Ωcm)高,常被用于处理舱的绝缘部品。
做为搬运手臂使用时于金属以及树脂材料相比其有比较高的弯曲强度故不易发生弯曲。
手臂的厚度可实现较薄的形状。

 其他领域的推荐用途
大型氧化铝(3M以上的陶瓷制品)和中空化陶瓷产品(不使用任何粘结剂的管状产品)也可对应,可以应用于直径450mm晶圆制造设备以及G10液晶基板制造设备等需要大型化陶瓷产品的领域使用。

ASUZAC 的氧化铝陶瓷产品通常有4个型号,【AR-99.6、ARW、ARK、AR-4N】,特殊氧化铝有一个ARB型号。
可根据客户需要选择最为合适之素材。


AR-99.6

氧化铝陶瓷是一种机械性能,热性能,电气性能,磁性能都比较优越的精密陶瓷素材。
其中被广泛运用的是纯度在99.6%的氧化铝陶瓷。
主要运用于电子产品中的绝缘,结构材料。从指尖这么大了产品到3米长的产品均可对应。

氧化铝  氧化铝
氧化铝99.6%AR99.6陶瓷加工案例

ARW / ARK

是一种薄板型氧化铝陶瓷。
颜色为白色,在基板以及Dummy Wafer方面多有使用。
ARW的纯度是99.6%,ARK的纯度为96%。
厚度可在1~2t左右的薄型产品比较适合。

ARW / ARK
ARW ARK 製品例


AR-4N

以高纯度氧化铝为原料制造而成的产品,其金属不纯物质含量很少。
AR-99.6的Na浓度0.08%以下、K浓度0.01%以下、Fe浓度0.09%以下、Ti浓度0.01%以下に対して、AR-4N的Na浓度0.003%以下、K浓度0.001%以下、Fe浓度0.003%以下、Ti浓度0.001%以下。
不纯物质可控制在ppm程度。
特别适合对不纯物质要求严格的产品使用。




AR(B) 黑色氧化铝陶瓷

黑色氧化铝是一种在保持一般氧化铝产品机械性能的同时,具有低反射精密陶瓷
一般在半导体和液晶制造设备用氧化铝系陶瓷主要是白色或乳黄色。做为光源,焦点周边配件使用时,光的发射会影响制程,黑色氧化铝具有精密陶瓷的高强度,高耐久性的同时,也可有效一直表面光反射。(反射率波長240~2600nm在5.1~15.3%左右)
黑色 氧化铝的纯度在99.9%,不纯物质含量很低。
空气环境中可在300℃温度下使用。

黑色氧化铝陶瓷  黑色氧化铝陶瓷
AR(B) 黑色氧化铝陶瓷


【 氧化铝物性一览 】
  氧化铝
AR-99.6 ARW ARK AR-4N AR(B)
含有量(Al2O3) 99.6 99.6 96.0 99.99 99.9
色調 象牙色 白色 白色 白色 黒色
密度 g/cm3 3.94 3.90 3.75 3.94 3.75
机械 抗弯强度 MPa 370 400 370 330 539
杨氏模量 GPa 390 370 340 360 363
HV硬度 GPa 14.7 14.7 14.0 15.7 10.6
泊松比 0.24 0.24 0.24 0.23 0.23
破坏韧性 MPa m1/2 4.0 3.0 3.0 4.0 3.2
热膨胀系数 10-6[常温~800℃] 7.7 7.7 7.7 7.7 8.1
导热系数 W/(m K) 32.0 28.0 23.0 31.0 31.2
比熱 J/(kg K) 0.78×103 0.78×103 0.78×103 0.78×103 0.80×103
电气 介电系数 [1MHz] 10.2 9.7 9.5 9.5 16.7
介质损耗 tanδ x10-4[1MHz] 70 5 5 5 10
体积电阻 Ω cm >1015 >1015 >1015 >1015 >1014
耐受电压 kV/mm 13.0 14.5 14.5 13.0 9.3
反射率
[波長240~2,600nm,
測定面Ra0.8程度]
18~93 5.1~15.3
特征 用途等    高強度
絶縁性大
耐磨耗性
高強度
絶縁性大
耐磨耗性
高強度
絶縁性大
耐磨耗性
高強度
絶縁性大
耐磨耗性
高純度
高清洁度対策
黒色
低反射率
(高絶縁性 耐高温
耐腐蚀性强)
※上记数值为参考值,因为产品形状和使用状态会有所不同。
※反射率会因为光的波长而不同,详情欢迎查询。

氧化铝以外,氧化锆,碳化硅的物性表请参阅一览表。
pdf 公開物性一覧表 (PDF49kb)


PDF文件需要Adobe Reader软件支持。
PDF



▲ページトップへ

欢迎查询

亚旭昌可根据客户需要开发多孔陶瓷,黑色陶瓷,机能型陶瓷,结构型陶瓷等各类精密陶瓷产品。
如果不清楚那款材料最合适时,请与我们联系。

从原料调配到精密机械加工全工程对应陶瓷生产体系。迅速对应試作/実験/模拟。

常年于世界知名企业提供产品,经验丰富,品质优良。
欢迎查询与合作。

以优质服务为您解决陶瓷产品方面的难题。
提供上门服务。


ASUZAC株式会社 精密陶瓷事业部
邮编 382-8508
日本国长野县上高井郡高山村大字中山981

TEL 026-248-1626 Email fcerainf@asuzac.co.jp



亚旭昌是液晶,半导体,LED制造设备部品中大型精密陶瓷,搬用设备部品等各类精密陶瓷产品的专业制造公司。

English |  韓国語(Korean) |  Japanese |  导航 |  个人信息保密

ASUZAC株式会社
精密陶瓷事业部

邮编 382-8508 日本国长野县上高井郡高山村大字中山981
TEL:026-248-1626  Email fcerainf@asuzac.co.jp
アクセスマップ